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[交流] 【求助】请问各位哪里可以做深硅刻蚀？

实验室的设备用起有点力不从心，想问问各位哪里有没有好点的设备可以做比较好的深硅刻蚀？

[ Last edited by wdwsnnu on 2010-3-17 at 22:50 ]

1楼 2010-01-08 11:24:51

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引用回帖:

Originally posted by clhxgj at 2010-1-8 16:50:
ICP等离子体刻蚀机（厦门大学好像有），Pegasus"全新离子反应式深硅刻蚀机（好像南京哪个大学有？）

感谢兄弟机器我也找到几个不过最好是他们已经做过类似的深硅刻蚀实验这样工艺参数就不用再摸索了呵呵

3楼2010-01-10 22:59:04

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Pegasus倒是绝好的好东西

4楼2010-01-10 23:00:39

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★
wdwsnnu(金币+1):很有礼貌啊 2010-03-17 22:50

感谢楼上的各位朋友，对我有很大的帮助

8楼2010-03-17 21:48:06

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