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【版务】石墨靶什么条件下才容易被溅射
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小弟在用磁控溅射法溅射石墨靶的时候,感觉石墨靶很难溅射,不知道哪位大侠能否指点一二,是不是需要高温和高的背底真空?偏压是不是越高越好?需不需要加什么反应气? 拜谢! |
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