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xhzhi1985木虫 (著名写手)
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【请教】关于薄膜介电常数的测量
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| 请教一下,我想测在硅片或石英片上沉积的薄膜的介电常数,但测量时必须带着衬底一块测量,那么测量的结果应该是薄膜和衬底两部分贡献的结果,有没有什么处理的方法用于除去衬底的贡献对测量结果的影响,衬底的介电常数已知,希望有高手给指导一下,谢谢! |
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