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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】关于薄膜介电常数的测量
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xhzhi1985

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】关于薄膜介电常数的测量

请教一下，我想测在硅片或石英片上沉积的薄膜的介电常数，但测量时必须带着衬底一块测量，那么测量的结果应该是薄膜和衬底两部分贡献的结果，有没有什么处理的方法用于除去衬底的贡献对测量结果的影响，衬底的介电常数已知，希望有高手给指导一下，谢谢！
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做事要规则，做人要原则
1楼 2009-11-23 11:10:24
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xhzhi1985

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by shijp_1982 at 2009/11/27 21:00:
可以通过阻抗谱的测量来确定每个部分对电容的贡献。薄膜可以等效成RC并联，基片可以同样等效。测量阻抗谱就会得到两个半圆或者三个半圆（如果有界面贡献），每一个半圆代表一个RC的并联电路。因此两个半圆就分别代 ...

你好，我还是不太明白把薄膜等效成RC并联，能不能给解释一下，或给推荐一下相关的资料，谢谢！还有，怎么通过阻抗谱来确定衬底对介电常数的贡献？
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做事要规则，做人要原则
3楼2009-12-02 19:20:48
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shijp_1982

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★
xhzhi1985(金币+5,VIP+0):非常感谢！ 12-1 19:46
可以通过阻抗谱的测量来确定每个部分对电容的贡献。薄膜可以等效成RC并联，基片可以同样等效。测量阻抗谱就会得到两个半圆或者三个半圆（如果有界面贡献），每一个半圆代表一个RC的并联电路。因此两个半圆就分别代表薄膜和基片的贡献。阻抗的实部就是电阻R，虚部就是1/wC,其中w表示角频率。
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You will never be alone
2楼2009-11-27 21:00:51
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