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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？
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godfory

无虫 (正式写手)
★
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目前形成二氧化硅层效果好的成熟的工艺就是热氧化！
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31楼2010-07-01 14:00:32
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332585347

木虫 (小有名气)

天蓝的世界
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
热氧化，cvd,pecvd 溶胶凝胶，查万方数据库，输入二氧化硅薄膜就能找到一些
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O(∩_∩)O哈哈哈~
32楼2010-11-06 19:56:42
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knightshui

木虫 (小有名气)
★
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额滴神啊，单晶硅片上长SiO2层，都让你们说的如此复杂。直接常压开管做热氧化不就得了，不怕慢就纯用干氧，嫌慢的话，就用干-湿-干工艺，想长多厚就长多厚，而且绝缘性相当好。
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我是棵树
33楼2013-12-17 21:14:59
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lianglei0427

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用PECVD生长，很容易的
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34楼2015-03-26 10:58:57
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peigong177

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by qfw_68 at 2009-11-23 08:10:44
单晶硅的热氧化：
http://www.simosolar.com/Learn_to_Web/1_03_%B9%E8%B2%C4%C1%CF%BA%CD%D2%BB%B0%E3%B9%E2%B7%FC%B5%E7%B3%D8%B0%E5/02_%BD%F8%BD%D7%C6%AA/023_PPT7_%20%B5%A5%BE%A7%B9%E8%B5%C4%C8%C8%D1%F5% ...

我想问一下,这个文献还能找到吗?
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35楼2016-11-04 21:37:05
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