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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★ ★
henry24(金币+1):谢谢参与
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 1-21 11:51
热氧化  1000多度0.2个微米要3-4个小时  要通氧气
还可射频溅射速率也比较慢
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11楼2010-01-15 19:43:03
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hjypt

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by manuscript at 2009-11-23 10:02:


最好的办法，有那种Si的

不知道哪里有卖您说的这种的 提供个联系方式吧
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12楼2010-01-20 22:55:54
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diamondfire

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个可以直接买。
也可以买SOG自己镀。
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再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
13楼2010-01-21 01:13:10
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mmsabina

铁杆木虫 (正式写手)
★
薰衣草儿(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 1-21 11:51
用PECVD,
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14楼2010-01-21 09:20:03
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明光

木虫 (著名写手)
直接在石英上做膜行不？
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心平气和，谦虚谨慎，创新上进！
15楼2010-01-21 12:44:04
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gamewang

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by zhangdong94 at 2009-11-23 10:17:
美国普渡大学的工程师们发明了一种在硅片上垂直生长单个碳纳米管的技术，向高级电子仪器、无线仪器和传感器的纳米堆积技术制造，迈出了一大步。他们的成果发表在7月11号的《Nanotechnology》。
“这项技术也 ...

有这篇文章么？可以贴出来？
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微信公众号：zajiadabing
16楼2010-01-21 14:59:55
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糊涂的snow

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
很多硅片都是 直接带二氧化硅氧化层的吧 看看市场上哪有卖的 我们导师每次回国带一堆  应该就是这种带氧化层的
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没有做不到只有想不到
17楼2010-03-04 10:58:17
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zjyaoyu

禁虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
本帖内容被屏蔽
18楼2010-05-30 10:43:01
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
磁控溅射就可以啊
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海纳百川，有容乃大。壁立千仞，无欲则刚！
19楼2010-05-30 11:00:34
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)
当然，还是建议买正规的镀有二氧化硅氧化层的，自己加工的毕竟工艺没有专门做这种硅片的公司强
赞一下 回复此楼
海纳百川，有容乃大。壁立千仞，无欲则刚！
20楼2010-05-30 11:01:31
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