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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？
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zjyaoyu

禁虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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21楼2010-05-30 11:48:37
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zjyaoyu

禁虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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22楼2010-05-30 20:42:20
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个可以买一台ALD（atomic layer deposition）来沉积SiO2薄膜，想镀多少个原子层，想镀多厚完全可控，12英寸的晶圆表面薄膜均匀性小于1%。貌似国内苏州纳米所就有人用这个方法
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材料分析测试技术群：101717240。
23楼2010-05-31 09:22:57
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cuiling.2005

木虫 (正式写手)

呵呵呵

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我觉得也应该是二氧化硅包覆，就是拿正硅酸四乙酯做前屈体产生二氧化硅，这个在文献上应该很多的
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24楼2010-05-31 09:45:33
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zjyaoyu

禁虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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25楼2010-06-01 13:09:13
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bbbbm

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
将si片在氧气中直接加热氧化也是可以的，一般买的si上都有一层氧化硅的啊，只是厚度不同
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26楼2010-06-02 14:59:56
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wqnow

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
靠，反复发广告还能反复拿金币
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27楼2010-06-09 22:51:15
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vvxd

铜虫 (正式写手)

http://iopscience.iop.org/0957-4484/17/15/052

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
Vertical single- and double-walled carbon nanotubes grown from modified porous anodic alumina templates
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dsd
28楼2010-06-10 04:11:27
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likai2113

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
应该还是氧化吧
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29楼2010-06-29 15:14:55
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diamondfire

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这可以直接买到，很便宜。
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再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
30楼2010-06-29 17:26:42
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