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henry24

银虫 (小有名气)

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专业: 金属基复合材料

[交流] 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？已有14人参与

我现在想在硅片上生长碳纳米管，但是效果并不好，看文献有说硅片上镀一层二氧化硅作为缓冲层可以缓冲后面接的金属层与硅片直接反应，一般的厚度大概是500纳米或者1微米。有没有简单的方法直接氧化硅片的表面？我看文献有用热氧化法的，不知道这个方法简单不简单，具体是如何操作？

[ Last edited by henry24 on 2009-11-23 at 06:48 ]

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1楼 2009-11-23 06:42:57

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peigong177

新虫 (初入文坛)

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★
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引用回帖:

2楼: Originally posted by qfw_68 at 2009-11-23 08:10:44
单晶硅的热氧化：
http://www.simosolar.com/Learn_to_Web/1_03_%B9%E8%B2%C4%C1%CF%BA%CD%D2%BB%B0%E3%B9%E2%B7%FC%B5%E7%B3%D8%B0%E5/02_%BD%F8%BD%D7%C6%AA/023_PPT7_%20%B5%A5%BE%A7%B9%E8%B5%C4%C8%C8%D1%F5% ...

我想问一下,这个文献还能找到吗?