| 查看: 29 | 回复: 0 | |||
zhaojiang427至尊木虫 (知名作家)
|
[交流]
KrF光刻胶树脂分类简介
|
|
https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd0NMwm9DwYIQ0hVEAA KrF光刻胶树脂分类简介 KrF光刻胶（248nm）采用化学放大（CAR）技术，其核心树脂为聚对羟基苯乙烯（Poly(4-hydroxystyrene), PHS）及其共聚物，这是与G线/I线酚醛树脂体系的根本区别。 目前基于聚羟基苯乙烯（PHS）及其衍生物的KrF光刻胶树脂包括三类：APEX类、Acetal类和ESCAP类。三种树脂的区别在于使用的聚合物树脂不同。更具体的是使用的聚合物树脂，酸致脱保护基团活化能不同使得脱保护反应发生的温度不同。 详细信息可访问下面公众号链接：https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd ... dle\" border=\"0\">  |
回复此楼» 猜你喜欢
合成金纳米双锥
已经有2人回复
-
25申博求博导
已经有0人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有237人回复
-
毕业论文中自己画的图，在自己发表SCI时使用需要注明出处吗？
已经有8人回复
-
投稿问题
已经有2人回复
-
招收2026年秋季入学博士生1名（北京科技大学 力学超材料/机器学习/增材制造相关方向）
已经有21人回复
-
招收26年秋季入学博士生（北科大高精尖学院 力学超材料/机器学习/增材制造相关方向）
已经有18人回复
