| 查看: 769 | 回复: 0 | |||
zhaojiang427至尊木虫 (知名作家)
|
[交流]
KrF光刻胶树脂分类简介
|
|
https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd0NMwm9DwYIQ0hVEAA KrF光刻胶树脂分类简介 KrF光刻胶（248nm）采用化学放大（CAR）技术，其核心树脂为聚对羟基苯乙烯（Poly(4-hydroxystyrene), PHS）及其共聚物，这是与G线/I线酚醛树脂体系的根本区别。 目前基于聚羟基苯乙烯（PHS）及其衍生物的KrF光刻胶树脂包括三类：APEX类、Acetal类和ESCAP类。三种树脂的区别在于使用的聚合物树脂不同。更具体的是使用的聚合物树脂，酸致脱保护基团活化能不同使得脱保护反应发生的温度不同。 详细信息可访问下面公众号链接：https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd ... dle\" border=\"0\">  |
回复此楼» 猜你喜欢
26/27申博自荐-锂/钠电池方向
已经有4人回复
-
西安交通大学转化医学研究院蔡文课题组招收2027年秋季入学推荐免试硕士生
已经有2人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有268人回复
-
求博导推荐
已经有1人回复
-
基金放榜前
已经有38人回复
-
西安交通大学蔡文课题组招收2027年秋季入学申请-考核制博士生
已经有0人回复
-
西安交通大学蔡文课题组招收联合培养博士研究生和硕士研究生
已经有0人回复
