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KrF光刻胶树脂分类简介
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https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd0NMwm9DwYIQ0hVEAA KrF光刻胶树脂分类简介 KrF光刻胶（248nm）采用化学放大（CAR）技术，其核心树脂为聚对羟基苯乙烯（Poly(4-hydroxystyrene), PHS）及其共聚物，这是与G线/I线酚醛树脂体系的根本区别。 目前基于聚羟基苯乙烯（PHS）及其衍生物的KrF光刻胶树脂包括三类：APEX类、Acetal类和ESCAP类。三种树脂的区别在于使用的聚合物树脂不同。更具体的是使用的聚合物树脂，酸致脱保护基团活化能不同使得脱保护反应发生的温度不同。 详细信息可访问下面公众号链接：https://mp.weixin.qq.com/s/ZnKHd ... dle\" border=\"0\">  |
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