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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 求助：有关MOCVD设备有关的知识
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txd1984

[交流] 求助：有关MOCVD设备有关的知识 已有1人参与

MOCVD设备中，为什么用带喷头的进气管？
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1楼 2009-11-06 08:49:53
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
★ ★
eeqeeq0002(金币+1,VIP+0):谢谢 参与 11-7 08:41
txd1984(金币+1,VIP+0):谢谢 我已经查到了 11-11 08:40
lz是说进入反应室的管道么，那应该是为了分散气流，使反应充分
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2楼2009-11-06 20:39:58
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99813721

新虫 (小有名气)
分散气流，提高气流分布均匀性
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3楼2010-07-13 16:53:08
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