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txd1984

[交流] 求助:有关MOCVD设备有关的知识 已有1人参与

MOCVD设备中,为什么用带喷头的进气管?
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99813721

新虫 (小有名气)

分散气流,提高气流分布均匀性
3楼2010-07-13 16:53:08
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

★ ★
eeqeeq0002(金币+1,VIP+0):谢谢 参与 11-7 08:41
txd1984(金币+1,VIP+0):谢谢 我已经查到了 11-11 08:40
lz是说进入反应室的管道么,那应该是为了分散气流,使反应充分
2楼2009-11-06 20:39:58
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