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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【求助】磁控溅射靶材起辉，但是不正常！
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mutou-wawa

木虫 (正式写手)

贫民

[交流] 【求助】磁控溅射靶材起辉，但是不正常！ 已有1人参与

我用磁控溅射镀磁性薄膜！以前这个参数是可以镀的，但是后来我买了块新的，这块就不正常可。自偏压很大，但是起辉并不是很明显。。。
各种条件我已经试过！
我真的是搞不明白了，希望同行与我交流一下！
谢谢指教！
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1楼 2009-11-03 20:15:48
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dayong415

木虫 (小有名气)
★ ★
mutou-wawa(金币+1):谢谢参与
mutou-wawa(金币+1,VIP+0): 11-4 19:07
帮楼主顶了
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2楼2009-11-03 20:53:35
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physics鱼

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★
mutou-wawa(金币+1):谢谢参与
mutou-wawa(金币+1,VIP+0): 11-4 19:07
小木虫:)(金币+2,VIP+0):3q 12-10 09:33
可能和靶材致密度很有关系，楼主预溅射一段时间再看效果，要不然就自己做靶材
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琴瑟友之
3楼2009-11-03 22:02:25
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★
mutou-wawa(金币+1):谢谢参与
mutou-wawa(金币+1,VIP+0): 11-4 19:07
小木虫:)(金币+3,VIP+0):3q 12-10 09:33
重新安装你的靶材，确保该接触的接触好，不该接触的一点都不能接触，
还有靶材到衬底的距离以及溅射功率和气压的匹配好注意。
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4楼2009-11-04 01:02:14
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mickk

铁杆木虫 (职业作家)
★ ★ ★
mutou-wawa(金币+1):谢谢参与
mutou-wawa(金币+1,VIP+0): 11-4 19:06
小木虫:)(金币+1,VIP+0):3q 12-10 09:33
听学生讲，有些材料需要焊接上
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5楼2009-11-04 07:08:08
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tmxkzk

木虫 (正式写手)
★ ★
mutou-wawa(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+1,VIP+0):3q 12-10 09:33
可能是你新买的靶材的问题，你先预溅射一下，还不正常可以再换一个靶材试下
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6楼2009-12-09 21:40:30
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wfliu

金虫 (小有名气)

可能性分析

★ ★ ★ ★ ★
mutou-wawa(金币+1):谢谢参与
小木虫:)(金币+4,VIP+0):3q 12-10 09:34
1.磁控溅射的磁场被很大程度的约束在磁性靶材里，在靶材外空间用于约束电子的磁场很弱，等离子体密度较低，对靶材溅射的离子数减少，导致磁性薄膜的沉积速率非常低。
2.溅射率过低。靶做薄点，磁场强点。
3.可能是溅射速率低造成的，可以试试提高溅射功率，或延长溅射时间。
4.衬底与膜材料不匹配。磁性材料最好用PLD来做，激光不受磁场影响。
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7楼2009-12-09 21:50:30
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floljf

金虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2,VIP+0):3q 12-13 15:29
楼上说的很对，磁控溅射中的磁场通常是平行于靶材的，分布域比较窄，穿透能力有限，靶材的厚度要在一定的范围内。我刚开始做溅射的时候也遇到过这样的问题，我们用的是沈科仪的溅射仪，一般3mm厚的靶材没有问题，但是当时买靶材的时候供应商那边只有5mm的，就不能使用，后来切割为两部分，正常！也是磁性靶！
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8楼2009-12-13 09:27:18
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chaoran420

金虫 (小有名气)
你的靶材多厚的？起辉现象也和靶材纯度杂质有点关系，恩，试着延长一下溅射时间。新靶表面可能有氧化现象
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一啸2013
9楼2010-04-18 17:36:38
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