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mutou-wawa木虫 (正式写手)
贫民
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[交流]
【求助】磁控溅射靶材起辉，但是不正常！已有1人参与
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我用磁控溅射镀磁性薄膜！以前这个参数是可以镀的，但是后来我买了块新的，这块就不正常可。自偏压很大，但是起辉并不是很明显。。。 各种条件我已经试过！ 我真的是搞不明白了，希望同行与我交流一下！ 谢谢指教！  |
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chaoran420
金虫 (小有名气)
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- 性别: MM
- 专业: 半导体材料
9楼2010-04-18 17:36:38