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flimxia

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】反应溅射制备氧化锌

反应溅射制备ZnO,改变氧氩比,溅射功率怎么算啊,以得到相同厚度的薄膜 。
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反应磁控溅射

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吾爱吾师,我更爱真理。
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yjyang07

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个参数跟你的溅射条件密切相关
不同的系统也有很大的区别的,还有溅射的材料等
关键还是实践经验
天行健,君子以自强不息~~~~~
8楼2009-11-01 14:28:44
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你想改变氧氩比,但不想改变厚度,所以只能通过功率来调节。但是这个是无法计算的,只能通过实验反过来计算。我的建议还是:功率不变,改变溅射时间,做几个不同时间的样,再测量厚度,算出该参数下的沉积速率,再选择相应时间,得到你要的厚度
3楼2009-10-30 21:10:36
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flimxia

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by jsszwutao at 2009-10-30 21:10:
你想改变氧氩比,但不想改变厚度,所以只能通过功率来调节。但是这个是无法计算的,只能通过实验反过来计算。我的建议还是:功率不变,改变溅射时间,做几个不同时间的样,再测量厚度,算出该参数下的沉积速率,再 ...

谢谢,我也是这么想的,我怎么算沉积速率呢?
吾爱吾师,我更爱真理。
4楼2009-10-31 08:09:19
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flimxia

银虫 (小有名气)

我想送你金币但不会弄,
吾爱吾师,我更爱真理。
5楼2009-10-31 08:12:30
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