应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】反应溅射制备氧化锌
51/1返回列表
查看: 1069  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

flimxia

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】反应溅射制备氧化锌

反应溅射制备ZnO,改变氧氩比，溅射功率怎么算啊，以得到相同厚度的薄膜 。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

反应磁控溅射

» 猜你喜欢
吾爱吾师，我更爱真理。
1楼 2009-10-30 18:44:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yjyang07

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个参数跟你的溅射条件密切相关
不同的系统也有很大的区别的，还有溅射的材料等
关键还是实践经验
赞一下(1人) 回复此楼
天行健，君子以自强不息～～～～～
8楼2009-11-01 14:28:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你想改变氧氩比，但不想改变厚度，所以只能通过功率来调节。但是这个是无法计算的，只能通过实验反过来计算。我的建议还是：功率不变，改变溅射时间，做几个不同时间的样，再测量厚度，算出该参数下的沉积速率，再选择相应时间，得到你要的厚度
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2009-10-30 21:10:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

flimxia

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by jsszwutao at 2009-10-30 21:10:
你想改变氧氩比，但不想改变厚度，所以只能通过功率来调节。但是这个是无法计算的，只能通过实验反过来计算。我的建议还是：功率不变，改变溅射时间，做几个不同时间的样，再测量厚度，算出该参数下的沉积速率，再 ...

谢谢，我也是这么想的，我怎么算沉积速率呢？
赞一下 回复此楼
吾爱吾师，我更爱真理。
4楼2009-10-31 08:09:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

flimxia

银虫 (小有名气)
我想送你金币但不会弄，
赞一下 回复此楼
吾爱吾师，我更爱真理。
5楼2009-10-31 08:12:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭