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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】反应溅射制备氧化锌
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flimxia

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】反应溅射制备氧化锌

反应溅射制备ZnO,改变氧氩比，溅射功率怎么算啊，以得到相同厚度的薄膜 。
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反应磁控溅射

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吾爱吾师，我更爱真理。
1楼 2009-10-30 18:44:02
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个参数跟你的溅射条件密切相关
不同的系统也有很大的区别的，还有溅射的材料等
关键还是实践经验
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天行健，君子以自强不息～～～～～
8楼2009-11-01 14:28:44
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你想改变氧氩比，但不想改变厚度，所以只能通过功率来调节。但是这个是无法计算的，只能通过实验反过来计算。我的建议还是：功率不变，改变溅射时间，做几个不同时间的样，再测量厚度，算出该参数下的沉积速率，再选择相应时间，得到你要的厚度
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3楼2009-10-30 21:10:36
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flimxia

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by jsszwutao at 2009-10-30 21:10:
你想改变氧氩比，但不想改变厚度，所以只能通过功率来调节。但是这个是无法计算的，只能通过实验反过来计算。我的建议还是：功率不变，改变溅射时间，做几个不同时间的样，再测量厚度，算出该参数下的沉积速率，再 ...

谢谢，我也是这么想的，我怎么算沉积速率呢？
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吾爱吾师，我更爱真理。
4楼2009-10-31 08:09:19
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flimxia

银虫 (小有名气)
我想送你金币但不会弄，
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吾爱吾师，我更爱真理。
5楼2009-10-31 08:12:30
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