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flimxia

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】反应溅射制备氧化锌

反应溅射制备ZnO,改变氧氩比,溅射功率怎么算啊,以得到相同厚度的薄膜 。
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反应磁控溅射

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吾爱吾师,我更爱真理。
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你想改变氧氩比,但不想改变厚度,所以只能通过功率来调节。但是这个是无法计算的,只能通过实验反过来计算。我的建议还是:功率不变,改变溅射时间,做几个不同时间的样,再测量厚度,算出该参数下的沉积速率,再选择相应时间,得到你要的厚度
3楼2009-10-30 21:10:36
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