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银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】反应溅射制备氧化锌

反应溅射制备ZnO,改变氧氩比，溅射功率怎么算啊，以得到相同厚度的薄膜。

吾爱吾师，我更爱真理。

1楼 2009-10-30 18:44:02

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铁杆木虫 (小有名气)

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

你想改变氧氩比，但不想改变厚度，所以只能通过功率来调节。但是这个是无法计算的，只能通过实验反过来计算。我的建议还是：功率不变，改变溅射时间，做几个不同时间的样，再测量厚度，算出该参数下的沉积速率，再选择相应时间，得到你要的厚度

3楼2009-10-30 21:10:36

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