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flimxia

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】反应溅射制备氧化锌

反应溅射制备ZnO,改变氧氩比,溅射功率怎么算啊,以得到相同厚度的薄膜 。
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吾爱吾师,我更爱真理。
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yjyang07

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个参数跟你的溅射条件密切相关
不同的系统也有很大的区别的,还有溅射的材料等
关键还是实践经验
天行健,君子以自强不息~~~~~
8楼2009-11-01 14:28:44
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