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[交流]
【求助】硅片断面应该怎样打磨?
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我在硅片上喷金后并涂膜,现在把硅片掰开后,想用SEM看到那层膜,并测量厚度。但是没能够看到膜和金以及金和硅片的交界。后来听说要事先打磨处理,不知如何操作? |
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