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光刻胶膜层皱纹已有1人参与
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目的：在硅片上得到圆柱状光刻胶。参数：正性光刻胶AZ4620，每次1000rpm匀胶20um，用棉签沾丙酮去边胶，软烘：90℃15min，再下一次匀胶，重复10次，得到200um厚胶层，曝光机12mJ/平方厘米，曝光200s+400s（曝光200s冷却后再曝光400s），显影用1：4稀释的AZ400K，手动显影：用镊子夹住浸没在显影液并快速搅动，显影时间平均在30min，得到的胶层在显微镜下看到膜层有严重网状裂纹。  发自小木虫手机客户端 |
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无机化学论文润色/翻译怎么收费?
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灰色的是衬底，黑色的是圆柱形胶柱？肉眼可见说明需要的分辨率很低吧。如果需要做这个图形可以试试JSR151，负胶，两次涂胶110um，5min显影可到底，陡直profile，一般是做孔用的。不过这个胶挺贵的，不好买，有国产替代品。 发自小木虫手机客户端 |
7楼2025-04-09 23:23:32