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Ghker

铁虫 (小有名气)

[求助] 金属溅射相关问题 已有2人参与

最近在做金属溅射,镀Cr后再镀Au,但是后续硅烷化修饰时Au容易脱落,想问会不会是金属溅射Cr时在反应腔室产生了碎屑,导致金层不致密呢。因为清理腔室的时候感觉有一些小碎渣,如果真是这个原因,还想请教大家一下,镀Cr时碎屑是怎么产生的呢
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y010204025

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

如果金镀上去结合力不强,可以尝试价格中间过渡层,在Cr上面镀一层镍,再在镍上镀金,电子行业一般都是在镀金前先镀一层镍。
通信设计、干压成型、流延成型、粉体球磨、粉体改性、造粒、蒸汽磨加工、动力电池模组、JMP回归建模
4楼2024-12-06 15:16:18
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NanoPi

银虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

Au的黏附力不够,需要调整溅射工艺参数,溅射功率等
2楼2024-11-25 10:56:16
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siyuyouai

银虫 (小有名气)

问题解决了吗?我是羧基修饰结束EDC/NHS活化过程金层掉了,不知道是不是溅射工艺不行
3楼2024-12-05 16:19:44
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