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金属溅射相关问题 已有2人参与
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| 最近在做金属溅射，镀Cr后再镀Au，但是后续硅烷化修饰时Au容易脱落，想问会不会是金属溅射Cr时在反应腔室产生了碎屑，导致金层不致密呢。因为清理腔室的时候感觉有一些小碎渣，如果真是这个原因，还想请教大家一下，镀Cr时碎屑是怎么产生的呢 |
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Au的黏附力不够，需要调整溅射工艺参数，溅射功率等 
2楼2024-11-25 10:56:16
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