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[求助]
光刻显影微纳加工
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| 本人在氧化镓薄膜表面光刻叉指电极，光刻显影后得到如下图案，不知怎么判断显影效果是否较好，后续经过真空蒸镀的方法镀上Ti/Au电极，结果在用丙酮洗脱电极的时候电极大面积脱落，不知道是哪里出了问题，请各位大佬指点指点。（使用的光刻胶是AZ5214E，当作正叫使用，有前烘和后烘处理，且在后烘之后用plasma打了几分钟处理表面的胶后再进行蒸镀） |
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