应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻显影微纳加工
51/1返回列表
查看: 1251  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者hubuhurui将赠送您 5 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

hubuhurui

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻显影微纳加工

本人在氧化镓薄膜表面光刻叉指电极，光刻显影后得到如下图案，不知怎么判断显影效果是否较好，后续经过真空蒸镀的方法镀上Ti/Au电极，结果在用丙酮洗脱电极的时候电极大面积脱落，不知道是哪里出了问题，请各位大佬指点指点。（使用的光刻胶是AZ5214E，当作正叫使用，有前烘和后烘处理，且在后烘之后用plasma打了几分钟处理表面的胶后再进行蒸镀）
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2024-11-18 20:18:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hubuhurui

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by NanoPi at 2024-11-18 20:29:21
你这是lift off，要用负胶，主要厚度

请问一下您说的厚度是光刻胶的厚度还是蒸镀电极的厚度？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
3楼2024-11-18 20:33:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

NanoPi

银虫 (著名写手)
你这是lift off，要用负胶，主要厚度

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2024-11-18 20:29:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

NanoPi

银虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hubuhurui at 2024-11-18 20:33:20
请问一下您说的厚度是光刻胶的厚度还是蒸镀电极的厚度？
...

光刻胶厚度

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
4楼2024-11-20 08:39:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703 东华大学 理学化学均过 a 线，总分 281 求调剂 +5 香香 Lu 2026-03-03 9/450 2026-03-06 10:10 by guoweigw
[考研] 一志愿华中科技大学，化学专业344分，求调剂 +7 邢xing1 2026-03-02 7/350 2026-03-06 09:14 by guoweigw
[考研] 复试调剂 +6 呼呼？~+123456 2026-03-05 9/450 2026-03-06 08:28 by 斩魂滴兔子！
[考研] 材料考研339求调剂 +3 Karry*^_^* 2026-03-04 3/150 2026-03-06 00:32 by wutongshun
[考研] 332材料求调剂 +6 zjy101327 2026-03-05 7/350 2026-03-06 00:18 by wutongshun
[考研] 化工282求调剂一志愿211 +5 NA0912 2026-03-05 6/300 2026-03-05 20:10 by 2735147993
[考研] 085602 293分求调剂 +3 SivanNano. 2026-03-05 3/150 2026-03-05 19:41 by caszguilin
[考研] 322分 085600求调剂，有互联网+国金及主持省级大创经历 +6 熊境喆 2026-03-04 6/300 2026-03-04 20:32 by kakakapanpan
[考研] 331求调剂 +3 zzZ&zZ 2026-03-03 3/150 2026-03-04 10:37 by aaa显卡批发王总
[考研] 环境工程学硕288求助调剂 +7 多吃亿口芝士 2026-03-02 7/350 2026-03-03 23:00 by zhukairuo
[考研] 计算机学硕 分数285求调剂 +4 glwshine 2026-03-02 5/250 2026-03-03 14:27 by king呀
[考研] 278求调剂 +3 满天星11_22 2026-03-02 3/150 2026-03-03 13:51 by Iveryant
[考研] 307求调剂 +6 wyyyqx 2026-03-01 6/300 2026-03-03 09:24 by 2235787770
[考研] 化工335求调剂 +5 摸摸猫猫头 2026-03-02 5/250 2026-03-03 09:10 by houyaoxu
[考研] 清华大学 材料与化工 353分求调剂 +5 awaystay 2026-03-02 6/300 2026-03-03 09:03 by houyaoxu
[考研] 0856求调剂285 +11 吕仔龙 2026-02-28 11/550 2026-03-02 20:15 by hypershenger
[考研] 0856化工专硕求调剂 +15 董boxing 2026-03-01 15/750 2026-03-02 15:06 by 晃晃不许晃
[考研] 303求调剂 +5 今夏不夏 2026-03-01 5/250 2026-03-02 15:01 by 向上的胖东
[考研] 275求调剂 +3 L-xin? 2026-03-01 6/300 2026-03-02 10:22 by 热情沙漠
[考研] 调剂 +3 13853210211 2026-03-02 4/200 2026-03-02 10:16 by 13853210211
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭