| 查看: 1678 | 回复: 2 | |||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者李小坤将赠送您 20 个金币 | |||
[求助]
磁控溅射相关问题 已有2人参与
|
|||
|
大佬们好，磁控溅射轰击金属靶材，例如Al、Sn等，能够轰击出相应的原子。但如果轰击的靶材是无机化合物，例如ZnGa2O4，轰击出来的是Zn,Ga,O原子还是ZnGa2O4分子呢？ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
一志愿江南大学085701环境工程专硕总分287求调剂
已经有3人回复
-
标题:捡漏预警|08工科/09农学调剂!英语要求低，过线即有机会!
已经有8人回复
-
求调剂！
已经有3人回复
-
0703化学调剂
已经有3人回复
-
欢迎211本科同学，过A区国家线，A区非偏远一本，交叉学科课题组
已经有36人回复
-
一志愿安徽大学材料工程专硕313分，求调剂的学校
已经有5人回复
-
一志愿湖师大化学289求调剂
已经有5人回复
-
读博申请
已经有5人回复
-
收调剂
已经有6人回复
-
0860求调剂（272分）
已经有4人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
king小草
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 394.6
- 散金: 406
- 帖子: 89
- 在线: 20.7小时
- 虫号: 3345376
- 注册: 2014-07-30
- 专业: 计算机应用技术
【答案】应助回帖
|
首先了解磁控溅射的解释更多的是通过高能粒子撞击动能转换的方式将靶材中的材料轰击出来。过程中溅射出的成分可能是单个分子，原子，原子团等。在溅射过程，如果能量足够，靶材里有易挥发，易分解的成分，则可能发生相应的反应。不清楚你说的ZnGa2O4的性质。首先定制的靶材中应该是以ZnGa2O4形式存在，如果轰击能量足够，化学键断裂可能会出现反应后的产物。 另外看到有介绍在合金靶材中，溅射出的组分比例就并非定制靶材的比例。溅射系数高的优先被溅射出去，组分变化，同时热力学作用下表层扩散迁移，使表层达到稳定比例。得到的膜跟靶材的比例会有差异。 这样想制备特定成分的膜层，就会考虑在反应过程中添加反应气体等方式控制组分。 |
2楼2024-11-13 17:16:22
sciencetechn
新虫 (小有名气)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 61.9
- 红花: 2
- 帖子: 110
- 在线: 17.3小时
- 虫号: 4044840
- 注册: 2015-08-31
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2025-02-24 16:59:46
