24小时热门版块排行榜

返回列表

【悬赏金币】回答本帖问题，作者李小坤将赠送您 20 个金币

李小坤

木虫 (著名写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 19461.6
帖子: 2612
在线: 55小时
虫号: 4301857
注册: 2015-12-21
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射相关问题已有2人参与

大佬们好，磁控溅射轰击金属靶材，例如Al、Sn等，能够轰击出相应的原子。但如果轰击的靶材是无机化合物，例如ZnGa2O4，轰击出来的是Zn,Ga,O原子还是ZnGa2O4分子呢？

发自小木虫IOS客户端

回复此楼

» 猜你喜欢

2026年面上项目中了，2A+B, 会评顺利通过已经有9人回复
今年E04面上已经有16人回复
大龄残疾硕士的一点执念已经有16人回复
刑法学论文投稿求助已经有5人回复
Journal of Environmental Chemical Engineering 已经有3人回复
最后一年，祈求好运已经有3人回复
风电环氧领域已经有3人回复
昨日死，今日生已经有8人回复
售T0P一区SCI文章，我:8O5.51.O.54,科目齐全,可＋急已经有4人回复
售T0P一区SCI文章，我:8O5.51.O.54,科目齐全,可＋急已经有4人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

1楼 2024-10-22 19:33:38

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

king小草

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 394.6
散金: 406
帖子: 89
在线: 20.7小时
虫号: 3345376
注册: 2014-07-30
专业: 计算机应用技术

【答案】应助回帖

首先了解磁控溅射的解释更多的是通过高能粒子撞击动能转换的方式将靶材中的材料轰击出来。过程中溅射出的成分可能是单个分子，原子，原子团等。在溅射过程，如果能量足够，靶材里有易挥发，易分解的成分，则可能发生相应的反应。不清楚你说的ZnGa2O4的性质。首先定制的靶材中应该是以ZnGa2O4形式存在，如果轰击能量足够，化学键断裂可能会出现反应后的产物。
      另外看到有介绍在合金靶材中，溅射出的组分比例就并非定制靶材的比例。溅射系数高的优先被溅射出去，组分变化，同时热力学作用下表层扩散迁移，使表层达到稳定比例。得到的膜跟靶材的比例会有差异。
   这样想制备特定成分的膜层，就会考虑在反应过程中添加反应气体等方式控制组分。