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Icymi

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助单层cvd石墨烯器件金属接触电阻问题

我们于外面acs购买了cvd单层石墨烯材料制作石墨烯fet,使用电子束蒸发镀Ni/Au(10nm/30nm)剥离作为接触电极,但是测量器件的Ids-Vds曲线在小电压下几乎不导通,加大电压,在大电流下(1ua以上)循环测试几次后,才能变为线性的iv(低电阻状态)。但是如果不施加电压,过一段时间后,又会变为高阻状态。已在Ar 250°、350°中退火两次,没有改变。之前用过Ti/Au,Cr/Au,扫iv也有些弯曲,有些像肖特基接触
    求助有没有遇到过类似问题的解决办法,我们希望实现欧姆接触,在小电压下也是一个线性的iv。
Stochastic nonlinear electrical characteristics of graphene 目前非常类似于这篇文章中提到的情况
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漂游浪子

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Icymi at 2024-10-10 08:48:30
我们在通大电流使器件变为低阻后用传输线结构测量了接触电阻,应该在几k欧姆·um左右。
  您是指两个探针直接扎到一个pad上看看金属的导电性吗?
...

是的,检查所镀电极的厚度及结合力情况
4楼2024-10-10 12:41:10
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漂游浪子

至尊木虫 (著名写手)

检查下是不是所镀电极阻抗过大。
2楼2024-10-09 17:14:58
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Icymi

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 漂游浪子 at 2024-10-09 17:14:58
检查下是不是所镀电极阻抗过大。

我们在通大电流使器件变为低阻后用传输线结构测量了接触电阻,应该在几k欧姆·um左右。
  您是指两个探针直接扎到一个pad上看看金属的导电性吗?

发自小木虫IOS客户端
3楼2024-10-10 08:48:30
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Icymi

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 漂游浪子 at 2024-10-10 12:41:10
是的,检查所镀电极的厚度及结合力情况...

好的,非常感谢

发自小木虫IOS客户端
5楼2024-10-10 13:09:37
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