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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 求助单层cvd石墨烯器件金属接触电阻问题
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Icymi

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助单层cvd石墨烯器件金属接触电阻问题

我们于外面acs购买了cvd单层石墨烯材料制作石墨烯fet，使用电子束蒸发镀Ni/Au(10nm/30nm)剥离作为接触电极，但是测量器件的Ids-Vds曲线在小电压下几乎不导通，加大电压，在大电流下（1ua以上）循环测试几次后，才能变为线性的iv（低电阻状态）。但是如果不施加电压，过一段时间后，又会变为高阻状态。已在Ar 250°、350°中退火两次，没有改变。之前用过Ti/Au,Cr/Au,扫iv也有些弯曲，有些像肖特基接触
    求助有没有遇到过类似问题的解决办法，我们希望实现欧姆接触，在小电压下也是一个线性的iv。
Stochastic nonlinear electrical characteristics of graphene 目前非常类似于这篇文章中提到的情况
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1楼 2024-10-09 12:56:55
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漂游浪子

至尊木虫 (著名写手)
检查下是不是所镀电极阻抗过大。
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2楼2024-10-09 17:14:58
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Icymi

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 漂游浪子 at 2024-10-09 17:14:58
检查下是不是所镀电极阻抗过大。

我们在通大电流使器件变为低阻后用传输线结构测量了接触电阻，应该在几k欧姆·um左右。
  您是指两个探针直接扎到一个pad上看看金属的导电性吗？

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3楼2024-10-10 08:48:30
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漂游浪子

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Icymi at 2024-10-10 08:48:30
我们在通大电流使器件变为低阻后用传输线结构测量了接触电阻，应该在几k欧姆·um左右。
  您是指两个探针直接扎到一个pad上看看金属的导电性吗？
...

是的，检查所镀电极的厚度及结合力情况
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4楼2024-10-10 12:41:10
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Icymi

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 漂游浪子 at 2024-10-10 12:41:10
是的，检查所镀电极的厚度及结合力情况...

好的，非常感谢

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5楼2024-10-10 13:09:37
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