| ²é¿´: 429 | »Ø¸´: 8 | |||
| µ±Ç°Ö÷ÌâÒѾ´æµµ¡£ | |||
[½»Á÷]
resist compositionÊÇʲôÒâ˼£¿
|
|||
| A resist composition includes: (A) a resin containing a repeating unit having a specific secondary benzyl structure;and (B) a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays or radiation, and a pattern forming method using the composition. |
» ²ÂÄãϲ»¶
Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ3È˻ظ´
Ò»Ö¾Ô¸±±¾©»¯¹¤´óѧ£¬³õÊԳɼ¨350Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ14È˻ظ´
¸´ÊÔµ÷¼Á
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
323·Ö£¨¼ÆËã»úÊÓ¾õºÍ´óÄ£ÐÍÏîÄ¿£©ÄÜÖ±½ÓÉÏÊÖ
ÒѾÓÐ3È˻ظ´
311·Ö 22408 Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ3È˻ظ´
320·ÖÈ˹¤ÖÇÄܵ÷¼Á
ÒѾÓÐ7È˻ظ´
Ò»Ö¾Ô¸Ö£´ó0705Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
0703»¯Ñ§
ÒѾÓÐ10È˻ظ´
301Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ10È˻ظ´
306·Ö²ÄÁÏÓ뻯¹¤Çóµ÷¼Á
ÒѾÓÐ6È˻ظ´
2005001045
ľ³æ (ÕýʽдÊÖ)
- Ó¦Öú: 0 (Ó×¶ùÔ°)
- ½ð±Ò: 1760.2
- ºì»¨: 1
- Ìû×Ó: 333
- ÔÚÏß: 160.3Сʱ
- ³æºÅ: 686342
- ×¢²á: 2009-01-02
- ÐÔ±ð: GG
- רҵ: Óлú»¯¹¤
2Â¥2009-10-19 19:31:06
wanglu3353
½û³æ (ÖøÃûдÊÖ)
¡ï
820160391(½ð±Ò+1,VIP+0): 12-9 17:33
820160391(½ð±Ò+1,VIP+0): 12-9 17:33
|
±¾ÌûÄÚÈݱ»ÆÁ±Î |
3Â¥2009-10-19 23:11:45
wsshihan
ÈÙÓþ°æÖ÷ (ÖøÃûдÊÖ)
ÜòÉñ
- Ó¦Öú: 0 (Ó×¶ùÔ°)
- ¹ó±ö: 1.6
- ½ð±Ò: 5983.8
- É¢½ð: 520
- ºì»¨: 2
- Ìû×Ó: 2332
- ÔÚÏß: 128.4Сʱ
- ³æºÅ: 98932
- ×¢²á: 2005-11-11
- ÐÔ±ð: GG
- רҵ: ¶ù¿Æ¡¢ÑªÒº¡¢Ô¤·À
¡ï ¡ï ¡ï ¡ï
820160391(½ð±Ò+1,VIP+0): 10-23 08:46
820160391(½ð±Ò+1,VIP+0): 10-23 09:27
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 11-10 11:52
820160391(½ð±Ò+1,VIP+0): 10-23 08:46
820160391(½ð±Ò+1,VIP+0): 10-23 09:27
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 11-10 11:52
Ò»ÖÖÓзÀ»¤ÄÜÁ¦µÄÎïÖÊ£¿ºÜÏë¿´¿´Ç°ºóÎÄ£¬Õâ¶«¶«NBµÄ˵£¬Óö¹âÉä»ò·øÉä±ã»áÃÚË᣿![]() ![]() |

4Â¥2009-10-20 05:12:52
charleygan
ÖÁ×ðľ³æ (ÖøÃûдÊÖ)
chlgan
- ·ÒëEPI: 99
- Ó¦Öú: 496 (˶ʿ)
- ¹ó±ö: 0.005
- ½ð±Ò: 13167.2
- É¢½ð: 15
- ºì»¨: 44
- Ìû×Ó: 2396
- ÔÚÏß: 399.5Сʱ
- ³æºÅ: 859768
- ×¢²á: 2009-09-29
- ÐÔ±ð: GG
- רҵ: Ó¦Óø߷Ö×Ó»¯Ñ§ÓëÎïÀí
¡ï ¡ï
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 10-23 08:38
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 10-23 08:38
| ·À·øÉäÅä·½°üÀ¨£º(A)Ò»ÖÖº¬Óдμ¶±½»·½á¹¹Öظ´µ¥ÔªµÄÊ÷Ö¬£»(B)Ò»ÖÖÄܹ»ÔÚ·øÕÕ»ò¹âѧÉäÏß·øÉäʱ²úÉúËáµÄ»ìºÏÎÒÔ¼°ËùÓÃÅä·½¹¹Ôì·½·¨¡£ |
5Â¥2009-10-20 17:00:02
¾ßÌåÁ´½Ó
|
http://appft1.uspto.gov/netacgi/ ... =G&l=50&s1='20080193878'.PGNR.&OS=DN/20080193878&RS=DN/20080193878 ×öµÄ¶«Î÷ȷʵºÜÅ£ ÊÇÈÕ±¾¸»Ê¿½ºÆ¬¹«Ë¾×öµÄÒ»¸öרÀû [ Last edited by 820160391 on 2009-10-24 at 11:12 ] |
6Â¥2009-10-23 08:40:53
wsshihan
ÈÙÓþ°æÖ÷ (ÖøÃûдÊÖ)
ÜòÉñ
- Ó¦Öú: 0 (Ó×¶ùÔ°)
- ¹ó±ö: 1.6
- ½ð±Ò: 5983.8
- É¢½ð: 520
- ºì»¨: 2
- Ìû×Ó: 2332
- ÔÚÏß: 128.4Сʱ
- ³æºÅ: 98932
- ×¢²á: 2005-11-11
- ÐÔ±ð: GG
- רҵ: ¶ù¿Æ¡¢ÑªÒº¡¢Ô¤·À
¡ï ¡ï ¡ï
820160391(½ð±Ò+1,VIP+0): 10-23 13:51
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 11-10 11:52
820160391(½ð±Ò+1,VIP+0): 10-23 13:51
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 11-10 11:52
|
¸»Ê¿½ºÆ¬¹«Ë¾µÄרÀû¡£¡£¡£ Ó¦¸ÃÈç4Â¥ËùÑÔ£¬ÊǸöÅä·½£¬»òÐí½Ð¡°¿¹Ê´»¤Ä¤·½¡±±È½ÏºÏÊÊ¡£¡£¡£½ö¹©²Î¿¼£¬²»ÊǺÜÇå³þÐÐÒµÊõÓïµÄ˵ |

7Â¥2009-10-23 10:16:23
TellNoOne
ľ³æ (СÓÐÃûÆø)
- Ó¦Öú: 0 (Ó×¶ùÔ°)
- ½ð±Ò: 1420.8
- Ìû×Ó: 262
- ÔÚÏß: 47.4Сʱ
- ³æºÅ: 756266
- ×¢²á: 2009-04-24
- רҵ: ÎÞ»úÄÉÃ×»¯Ñ§
¡ï ¡ï
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 10-23 13:51
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 10-23 13:51
| resist Ö¸¹â¿ÌÊ´¼Á, Êǰ뵼Ìåµç×Ó¹¤ÒµÖÐÖÆ×÷patternµÄÒ»ÖÖ³£ÓÃÊÔ¼Á |
8Â¥2009-10-23 11:02:16
1989summer
гæ (³õÈëÎÄ̳)
- Ó¦Öú: 0 (Ó×¶ùÔ°)
- ½ð±Ò: 392
- Ìû×Ó: 13
- ÔÚÏß: 7·ÖÖÓ
- ³æºÅ: 879526
- ×¢²á: 2009-10-21
¡ï ¡ï ¡ï ¡ï ¡ï ¡ï ¡ï ¡ï ¡ï ¡ï ¡ï ¡ï ¡ï
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 10-24 11:11
820160391(½ð±Ò+3,VIP+0): 11-10 11:52
zap65535(½ð±Ò+8,VIP+0):²¹·¢ 12-22 10:25
820160391(½ð±Ò+2,VIP+0): 10-24 11:11
820160391(½ð±Ò+3,VIP+0): 11-10 11:52
zap65535(½ð±Ò+8,VIP+0):²¹·¢ 12-22 10:25
|
ÎÒ¾õµÃ·Òë³É ±£»¤²ã[Ĥ]; ¿¹Ê´ÐÔ; ¿¹Ê´[·À¸¯]¼Á; (ӡȾÓÃ)·ÀȾ¼Á ÖеÄÒ»¸ö ¶øÎÒ¸öÈËÇãÏò ·Òë³É£º ¿¹Ê´¼ÁµÄ×é³É ±È½ÏºÃ ÀýÈ磺inverse photo resist ·´Ð͹âÖ¿¹Ê´¼Á negative resist ¸ºÐÔ¿¹Ê´¼Á oxide resist Ñõ»¯Îʴ¼Á paper resist ïλ¨Ö½°æ, ¶»¨Ö½°æ photosensitive resist ¹âÖ¿¹Ê´¼Á |
9Â¥2009-10-23 21:32:20














»Ø¸´´ËÂ¥