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resist composition是什么意思？
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| A resist composition includes: (A) a resin containing a repeating unit having a specific secondary benzyl structure;and (B) a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays or radiation, and a pattern forming method using the composition. |
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wsshihan
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7楼2009-10-23 10:16:23
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6楼2009-10-23 08:40:53
