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resist composition是什么意思？
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| A resist composition includes: (A) a resin containing a repeating unit having a specific secondary benzyl structure;and (B) a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic rays or radiation, and a pattern forming method using the composition. |
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具体链接
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http://appft1.uspto.gov/netacgi/ ... =G&l=50&s1='20080193878'.PGNR.&OS=DN/20080193878&RS=DN/20080193878 做的东西确实很牛 是日本富士胶片公司做的一个专利 [ Last edited by 820160391 on 2009-10-24 at 11:12 ] |
6楼2009-10-23 08:40:53
wsshihan
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5楼2009-10-20 17:00:02
wsshihan
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7楼2009-10-23 10:16:23