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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】铁电薄膜介电常数的测量
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348813172

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】铁电薄膜介电常数的测量

请教各位大侠，铁电薄膜介电常数怎么测啊？
我们实验室用的是安捷伦E4980A，能够测出C-D一组参数。如果要测介电常数，是不是要根据平行板电容器公式进行推算？
如果是这样，膜厚不方便测，介电常数就不好算啊。
在下刚开始做铁电薄膜，在性能测试方面不太在行，请各位高手赐教啊
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1楼 2009-10-15 20:50:58
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木子小木虫

荣誉版主 (知名作家)

优秀版主
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
膜厚是材料一个关键参数，一般沉积时都要先校正一下薄膜的沉积速率，从而能够得到想要厚度的薄膜。
介电常数的计算一般都是通过测出的C，根据平行板电容器公式计算得到。
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2楼2009-10-16 09:57:23
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sungem

银虫 (小有名气)
★
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这位仁兄做得是无机的铁电薄膜还是有机的铁电薄膜？
测介电常数方法：
1、矢量网络分析仪
2、阻抗分析仪
3、电化学方法测C—V曲线，再算介电常数
4、用椭圆偏振来测薄膜的折光指数, 再用 Maxwell 方程转化为介电常数
5、有些复合材料可用复合介电常数混合定律算出来。
一已之见，有错之处，请指出。
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3楼2009-10-19 18:32:03
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chainjim

铜虫 (小有名气)

没有膜厚就测不了啊！

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
需要喷金上电极！

要有探针台和你的测试仪器连接
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4楼2009-10-21 01:09:40
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