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木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】铁电薄膜介电常数的测量

请教各位大侠,铁电薄膜介电常数怎么测啊?
我们实验室用的是安捷伦E4980A,能够测出C-D一组参数。如果要测介电常数,是不是要根据平行板电容器公式进行推算?
如果是这样,膜厚不方便测,介电常数就不好算啊。
在下刚开始做铁电薄膜,在性能测试方面不太在行,请各位高手赐教啊
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木子小木虫

荣誉版主 (知名作家)

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膜厚是材料一个关键参数,一般沉积时都要先校正一下薄膜的沉积速率,从而能够得到想要厚度的薄膜。
介电常数的计算一般都是通过测出的C,根据平行板电容器公式计算得到。
论文投稿区欢迎您!
2楼2009-10-16 09:57:23
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sungem

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这位仁兄做得是无机的铁电薄膜还是有机的铁电薄膜?
测介电常数方法:
1、矢量网络分析仪
2、阻抗分析仪
3、电化学方法测C—V曲线,再算介电常数
4、用椭圆偏振来测薄膜的折光指数, 再用 Maxwell 方程转化为介电常数
5、有些复合材料可用复合介电常数混合定律算出来。
一已之见,有错之处,请指出。
3楼2009-10-19 18:32:03
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chainjim

铜虫 (小有名气)

没有膜厚就测不了啊!


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需要喷金上电极!

要有探针台和你的测试仪器连接
4楼2009-10-21 01:09:40
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