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【请教】铁电薄膜介电常数的测量
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请教各位大侠,铁电薄膜介电常数怎么测啊? 我们实验室用的是安捷伦E4980A,能够测出C-D一组参数。如果要测介电常数,是不是要根据平行板电容器公式进行推算? 如果是这样,膜厚不方便测,介电常数就不好算啊。 在下刚开始做铁电薄膜,在性能测试方面不太在行,请各位高手赐教啊 |
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chainjim
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