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学术务实人

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射

请问大佬们直流磁控溅射不同靶材设置的电源功率怎么变化啊，有计算方法不？或者有用过稀土元素Sc的靶材的大佬们，功率参数范围是多少啊？
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1楼 2024-01-11 19:16:11
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