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石墨化炉 真空烧结炉
湖南省株洲市天元区天易大道959号新马金谷工业园A1栋
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石墨化专家

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[商家供应] 沉积炉

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内容

沉积炉
用途:
 可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。

   特点
采用先进的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 
采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
采用最新设计防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;
化学气相沉积炉主要配置
炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡
加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
真空泵和真空计---进口/国产
人机界面:触摸屏/工控机
电器元件:正泰/施耐德/西门子

参数\型号        JR-CJL-Φ30×50        JR-CJL-Φ60×80        JR-CJL-Φ80×120        JR-CJL-Φ100×150        JR-CJL-Φ110×200
容积(L)        35        226        602        1177        1899
最高温度(℃)        1500        1500        1500        1500        1500
工作区尺寸D×H(mm)        Φ300×500        Φ600×800        Φ800×1200        Φ1000×1500        Φ1100×2000
控温方式        日本岛电温控仪
加热方式        电阻加热
真空系统        抗污泵或滑阀泵+罗茨泵
烧结气氛        碳氢气体等
额定电源电压(V)        380
额定加热电压(V)        根据设计确定,配置炉前变压器

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28楼2024-07-27 18:28:43
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石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
2楼2023-12-25 14:36:36
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石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
3楼2023-12-25 16:42:05
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石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
4楼2023-12-25 16:51:23
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