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石墨化专家
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沉积炉
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沉积炉 用途: 可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。 特点 采用先进的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小; 采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好; 对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理; 采用最新设计防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低; 化学气相沉积炉主要配置 炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧 炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢 炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡 加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨 工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产 真空泵和真空计---进口/国产 人机界面:触摸屏/工控机 电器元件:正泰/施耐德/西门子 参数\型号 JR-CJL-Φ30×50 JR-CJL-Φ60×80 JR-CJL-Φ80×120 JR-CJL-Φ100×150 JR-CJL-Φ110×200 容积(L) 35 226 602 1177 1899 最高温度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500 工作区尺寸D×H(mm) Φ300×500 Φ600×800 Φ800×1200 Φ1000×1500 Φ1100×2000 控温方式 日本岛电温控仪 加热方式 电阻加热 真空系统 抗污泵或滑阀泵+罗茨泵 烧结气氛 碳氢气体等 额定电源电压(V) 380 额定加热电压(V) 根据设计确定,配置炉前变压器 |
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2楼2023-12-25 14:36:36
3楼2023-12-25 16:42:05
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石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
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4楼2023-12-25 16:51:23



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