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株洲金瑞中高频设备有限公司
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石墨化炉 真空烧结炉
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石墨化专家

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内容

沉积炉
用途：
 可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。

   特点
采用先进的控制技术，能精密控制气体的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 
采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；
采用最新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率低；
化学气相沉积炉主要配置
炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡
加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
真空泵和真空计---进口/国产
人机界面：触摸屏/工控机
电器元件：正泰/施耐德/西门子

参数\型号        JR-CJL-Φ30×50        JR-CJL-Φ60×80        JR-CJL-Φ80×120        JR-CJL-Φ100×150        JR-CJL-Φ110×200
容积（L）        35        226        602        1177        1899
最高温度（℃）        1500        1500        1500        1500        1500
工作区尺寸D×H（mm）        Φ300×500        Φ600×800        Φ800×1200        Φ1000×1500        Φ1100×2000
控温方式        日本岛电温控仪
加热方式        电阻加热
真空系统        抗污泵或滑阀泵+罗茨泵
烧结气氛        碳氢气体等
额定电源电压（V）        380
额定加热电压（V）        根据设计确定，配置炉前变压器
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1楼 2023-12-25 14:17:19
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tzynew
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k

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2楼2023-12-25 14:36:36
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XG-WUST
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up

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3楼2023-12-25 16:42:05
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jiaoxg
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石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
4楼2023-12-25 16:51:23
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xiaoqiuqiu20
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石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
5楼2023-12-25 17:00:31
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chenhuanlong

禁虫 (文学泰斗)
★
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本帖内容被屏蔽
6楼2023-12-25 17:00:55
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miaojiabing
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石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
7楼2023-12-25 21:40:49
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hyjcs
★
石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
哦

发自小木虫Android客户端
8楼2023-12-25 22:01:30
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ll9999

专家顾问 (文坛精英)

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萬事如意
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9楼2023-12-25 23:41:44
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shenrenren
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石墨化专家(金币+1): 谢谢参与
10楼2023-12-26 07:06:07
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