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NXQK.9

新虫 (初入文坛)

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专业: 金属材料

[交流] 氮气对金属薄膜的影响已有2人参与

请问大佬们，做磁控溅射氮掺杂金属薄膜，随着氮含量增加截面出现玻璃化的微观特征，这个该怎么解释？看可多文献都有这个现象但都没解释。

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1楼 2023-10-25 16:47:00

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (小有名气)

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本帖仅楼主可见

2楼2023-10-26 17:31:08

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doesun

新虫 (小有名气)

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专业: TEM

★
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金属氮化物熔点比起金属高很多，相应的溅射镀膜的结晶更难，所以出现玻璃化。

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DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931

3楼2025-10-24 19:34:27