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NXQK.9

新虫 (初入文坛)

[交流] 氮气对金属薄膜的影响已有2人参与

请问大佬们,做磁控溅射氮掺杂金属薄膜,随着氮含量增加截面出现玻璃化的微观特征,这个该怎么解释?看可多文献都有这个现象但都没解释。
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doesun

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
金属氮化物熔点比起金属高很多,相应的溅射镀膜的结晶更难,所以出现玻璃化。
DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
3楼2025-10-24 19:34:27
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