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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 学术帮助 » 请问哪里有测试光刻胶线边缘粗糙度比较好的方法？
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NKU-QY

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问哪里有测试光刻胶线边缘粗糙度比较好的方法？

求能测光刻胶LER的途径或者方法，感谢！
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1楼 2023-06-14 11:42:07
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yanyu160

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
wolfghost: 金币+2, 有效应助奖励~ 2023-07-23 21:16:06
NKU-QY(wolfghost代发): 金币+2 2023-07-23 21:16:15
wolfghost: 博学EPI+1 2023-07-23 21:16:19
要用CD-SEM 有专门测试LER的模式
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3楼2023-07-10 16:45:52
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fashionmetoo

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
wolfghost: 金币+2, 积极应助奖励~ 2023-07-23 21:15:48
NKU-QY(wolfghost代发): 金币+2 2023-07-23 21:15:57
wolfghost: 博学EPI+1 2023-07-23 21:16:33
你好，AFM是否可行？起伏太大的话，可以考虑台阶仪试试看。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2023-06-16 13:59:52
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