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新虫 (初入文坛)

[求助] 请问哪里有测试光刻胶线边缘粗糙度比较好的方法？

求能测光刻胶LER的途径或者方法，感谢！

1楼 2023-06-14 11:42:07

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回帖置顶 ( 共有2个 )

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
wolfghost: 金币+2, 积极应助奖励~ 2023-07-23 21:15:48
NKU-QY(wolfghost代发): 金币+2 2023-07-23 21:15:57
wolfghost: 博学EPI+1 2023-07-23 21:16:33

你好，AFM是否可行？起伏太大的话，可以考虑台阶仪试试看。

2楼2023-06-16 13:59:52

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银虫 (初入文坛)

★ ★ ★ ★
wolfghost: 金币+2, 有效应助奖励~ 2023-07-23 21:16:06
NKU-QY(wolfghost代发): 金币+2 2023-07-23 21:16:15
wolfghost: 博学EPI+1 2023-07-23 21:16:19

要用CD-SEM 有专门测试LER的模式

3楼2023-07-10 16:45:52

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