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NKU-QY

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问哪里有测试光刻胶线边缘粗糙度比较好的方法?

求能测光刻胶LER的途径或者方法,感谢!
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fashionmetoo

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
wolfghost: 金币+2, 积极应助奖励~ 2023-07-23 21:15:48
NKU-QY(wolfghost代发): 金币+2 2023-07-23 21:15:57
wolfghost: 博学EPI+1 2023-07-23 21:16:33
你好,AFM是否可行?起伏太大的话,可以考虑台阶仪试试看。
2楼2023-06-16 13:59:52
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yanyu160

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
wolfghost: 金币+2, 有效应助奖励~ 2023-07-23 21:16:06
NKU-QY(wolfghost代发): 金币+2 2023-07-23 21:16:15
wolfghost: 博学EPI+1 2023-07-23 21:16:19
要用CD-SEM 有专门测试LER的模式
3楼2023-07-10 16:45:52
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