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wolfghost

版主 (知名作家)

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【答案】应助回帖

qfw_68: 博学EPI+1, 积极应助奖励! 2023-06-26 09:55:06
以下几种情况可以引起起辉不正常:
1.靶材(阴极)短路了,可以用摇表测一下(也可用万用表,不过万用表的电压太低,可能测不准确)
2.靶材表面太脏,起辉时打弧放电厉害,导致电源灭弧太频繁无法稳定起辉,可先低功率用纯氩烧会儿靶
3.磁块可能松动甚至翻转了,导致磁场变弱,这会造成起辉困难
大刀向鬼子的头上砍去!ChopJapstoDeath!
2楼2023-06-15 11:25:21
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

qfw_68: 博学EPI+1, 正解!CuO的电阻应该是很大的。建议使用射频磁控溅射。 2023-07-05 09:06:28
靶面电阻多少,如果电阻很大就不适合用直流。
另增大下气压,比如1pa
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
3楼2023-06-29 12:25:15
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