应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 实验讨论 » 磁控溅射起辉不了
41/1返回列表
查看: 1442  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者幸运菜狗将赠送您 60 个金币
本帖产生 2 个 博学EPI ，点击这里进行查看

幸运菜狗

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射起辉不了

靶材表面不断闪烁，但是就起辉不成功。
采用的直流溅射CuO，通的氩气。
哪位好心人帮忙解答一下原因

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2023-06-08 21:30:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖置顶 ( 共有2个 )

wolfghost

版主 (知名作家)

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

qfw_68: 博学EPI+1, 积极应助奖励！ 2023-06-26 09:55:06
以下几种情况可以引起起辉不正常:
1.靶材(阴极)短路了,可以用摇表测一下(也可用万用表,不过万用表的电压太低,可能测不准确)
2.靶材表面太脏,起辉时打弧放电厉害,导致电源灭弧太频繁无法稳定起辉,可先低功率用纯氩烧会儿靶
3.磁块可能松动甚至翻转了,导致磁场变弱,这会造成起辉困难
赞一下 回复此楼
大刀向鬼子的头上砍去！ChopJapstoDeath!
2楼2023-06-15 11:25:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

qfw_68: 博学EPI+1, 正解！CuO的电阻应该是很大的。建议使用射频磁控溅射。 2023-07-05 09:06:28
靶面电阻多少，如果电阻很大就不适合用直流。
另增大下气压，比如1pa
赞一下(1人) 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2023-06-29 12:25:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

mzp123

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

赞同楼上的意见，氧化物的玩意导电性一般不好，直流够呛。另外气压参数也比较重要，一般10Pa也是可以接受的
赞一下 回复此楼
男儿当自强
4楼2023-07-17 13:01:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 幸运菜狗 的主题更新
41/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭