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幸运菜狗

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射起辉不了

靶材表面不断闪烁，但是就起辉不成功。
采用的直流溅射CuO，通的氩气。
哪位好心人帮忙解答一下原因

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1楼2023-06-08 21:30:19
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wolfghost

版主 (知名作家)

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

qfw_68: 博学EPI+1, 积极应助奖励！ 2023-06-26 09:55:06
以下几种情况可以引起起辉不正常:
1.靶材(阴极)短路了,可以用摇表测一下(也可用万用表,不过万用表的电压太低,可能测不准确)
2.靶材表面太脏,起辉时打弧放电厉害,导致电源灭弧太频繁无法稳定起辉,可先低功率用纯氩烧会儿靶
3.磁块可能松动甚至翻转了,导致磁场变弱,这会造成起辉困难
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大刀向鬼子的头上砍去！ChopJapstoDeath!
2楼2023-06-15 11:25:21
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

qfw_68: 博学EPI+1, 正解！CuO的电阻应该是很大的。建议使用射频磁控溅射。 2023-07-05 09:06:28
靶面电阻多少，如果电阻很大就不适合用直流。
另增大下气压，比如1pa
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2023-06-29 12:25:15
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mzp123

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

赞同楼上的意见，氧化物的玩意导电性一般不好，直流够呛。另外气压参数也比较重要，一般10Pa也是可以接受的
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男儿当自强
4楼2023-07-17 13:01:45
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