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ws4231153

新虫 (小有名气)

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[求助] 想把NiCr薄膜做到1Ω怎么实现啊？已有1人参与

目前需要磁控溅射的NiCr薄膜做到1Ω，想着加长溅射时间增加厚度来减小电阻，但发现时间太久了薄膜出现开裂的情况，电阻在5Ω左右，请问有什么方法可以解决薄膜厚度太厚导致的开裂情况呢？或者减小NiCr薄膜电阻率有什么方法呢？

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1楼 2023-04-23 16:44:13

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ws4231153

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引用回帖:

5楼: Originally posted by mat-cn02 at 2023-04-25 21:09:26
针对NiCr薄膜出现开裂情况，可以考虑以下方法：
1.降低溅射功率和溅射速率，逐步增加厚度，可以减少薄膜内部应力的积累，防止出现开裂情况。
2.增加基板温度，可以增加NiCr薄膜的晶粒尺寸，提高膜层的织构性，减少应 ...

十分感谢

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