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infinite23铁虫 (初入文坛)
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[交流]
【求助】磁控溅射电源问题
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请问各位磁控溅射的靶可以同时使用射频电源和直流电源吗？如果可以，该怎么接线或者怎么设计？谢谢！ |
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5楼2009-09-21 09:15:38
jsszwutao
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2楼2009-09-19 21:51:36
infinite23
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3楼2009-09-19 22:08:16
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4楼2009-09-21 08:43:48
100