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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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infinite23

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射电源问题

请问各位磁控溅射的靶可以同时使用射频电源和直流电源吗?如果可以,该怎么接线或者怎么设计?谢谢!
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zhrdrc

铜虫 (小有名气)

怎么能同时使用呢?
5楼2009-09-21 09:15:38
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★
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闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 12-10 09:07
同时使用???没听说过有这种用法。要么射频溅射,要么直流溅射。金属的话两种都能用,陶瓷靶只能射频
2楼2009-09-19 21:51:36
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infinite23

铁虫 (初入文坛)

对,是金属,现在想同时使用,看可不可行?
3楼2009-09-19 22:08:16
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yjyang07

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 12-10 09:07
直流的一般只能用来溅射导电的材料,射频的话导电的和绝缘的都是可以的
天行健,君子以自强不息~~~~~
4楼2009-09-21 08:43:48
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