24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1195  |  回复: 11
当前主题已经存档。

infinite23

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射电源问题

请问各位磁控溅射的靶可以同时使用射频电源和直流电源吗?如果可以,该怎么接线或者怎么设计?谢谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 12-10 09:07
同时使用???没听说过有这种用法。要么射频溅射,要么直流溅射。金属的话两种都能用,陶瓷靶只能射频
2楼2009-09-19 21:51:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

infinite23

铁虫 (初入文坛)

对,是金属,现在想同时使用,看可不可行?
3楼2009-09-19 22:08:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yjyang07

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 12-10 09:07
直流的一般只能用来溅射导电的材料,射频的话导电的和绝缘的都是可以的
天行健,君子以自强不息~~~~~
4楼2009-09-21 08:43:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhrdrc

铜虫 (小有名气)

怎么能同时使用呢?
5楼2009-09-21 09:15:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

infinite23

铁虫 (初入文坛)

我是听说可以,但是没查到相关的资料,所以上来问问大家,看看有没有人知道。我现在是想溅射金属,想直流和射频同时使用,该怎么接线?
6楼2009-09-21 12:46:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gaosongsong

新虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 12-10 09:07
好像前一阵子见到过,刚刚替你Google了一下,
“ 通过对衬底施加负偏压吸引等离子体中的阳离子对衬底轰击,从而用射频磁控溅射法在水冷透明绦”
一般的磁控溅射系统的基片台部分好像都可以加热冷却加偏压的。
7楼2009-09-21 14:59:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 12-10 09:08
引用回帖:
Originally posted by gaosongsong at 2009-9-21 14:59:
好像前一阵子见到过,刚刚替你Google了一下,
“ 通过对衬底施加负偏压吸引等离子体中的阳离子对衬底轰击,从而用射频磁控溅射法在水冷透明绦”
一般的磁控溅射系统的基片台部分好像都可以加热冷却加偏压的。

楼主说的是对于靶。我觉得不行,因为这相当于交流的某半个周期得到偏压加强,而另半个周期的偏压得到削弱,这有什么意义吗?不懂。
没有困难创造困难也要上网。
8楼2009-09-21 15:47:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

如此一来,相当于加脉冲直流偏压了。
没有困难创造困难也要上网。
9楼2009-09-21 15:48:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tplee_hb

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
楼主是想有时候用直流有时候用射频呢,还是两个电源同时工作于同一个靶上呢?
10楼2009-09-21 15:55:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 infinite23 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 11408 一志愿西电,277分求调剂 +4 zhouzhen654 2026-04-03 4/200 2026-04-04 18:10 by 猪会飞
[考研] 085400电子信息319求调剂(接受跨专业调剂) +4 星星不眨眼喽 2026-04-03 5/250 2026-04-04 05:12 by gswylq
[考研] 317分 一志愿江南大学 化学工程学硕 求调剂 +6 YinTai 2026-04-03 6/300 2026-04-03 22:30 by 无际的草原
[考研] 考研求调剂 +3 木心想继续深造 2026-04-03 3/150 2026-04-03 21:56 by 啵啵啵0119
[考研] 326分求调剂 +3 于是乎呢 2026-04-01 5/250 2026-04-03 14:23 by 于是乎呢
[考研] 315求调剂 +6 顺理成张 2026-04-03 8/400 2026-04-03 14:04 by 百灵童888
[考研] 315分 085602 求调剂 +15 26考研上岸版26 2026-04-02 15/750 2026-04-03 12:45 by xingguangj
[考研] 土木水利328分求调剂 +6 疾风知劲草666 2026-04-02 6/300 2026-04-03 11:38 by znian
[考研] 330求调剂 +3 白神呜呼呼 2026-04-02 3/150 2026-04-03 10:15 by 蓝云思雨
[考研] 0832食品科学与工程学硕282调剂 +4 鱼在水中游a 2026-04-02 7/350 2026-04-02 14:12 by baoball
[考研] 070300化学279求调剂 +15 哈哈哈^_^ 2026-03-31 17/850 2026-04-01 21:37 by 给你你注意休息
[考研] 考研生物与医药调剂 +7 铁憨憨123425 2026-03-31 7/350 2026-04-01 08:45 by JourneyLucky
[考研] 求调剂:一志愿:南京大学 专业:0705 总分320 ,本科985,四六级已过 +3 lfy760306 2026-03-31 3/150 2026-04-01 01:57 by Creta
[考研] 复试调剂 +7 双马尾痞老板2 2026-03-31 7/350 2026-03-31 19:49 by Dyhoer
[考研] 375求调剂 +7 雨夏整夜 2026-03-29 7/350 2026-03-31 18:52 by xhai2011
[考研] 340求调剂 +4 希望如此i 2026-03-31 4/200 2026-03-31 16:40 by 690616278
[考研] 考研调剂求助 +7 13287130938 2026-03-31 7/350 2026-03-31 16:39 by 690616278
[考研] 本科211安全工程,初试290分,求调剂 +3 2719846834 2026-03-28 3/150 2026-03-31 13:52 by 热情沙漠
[考研] 276求调剂 +3 赵久华 2026-03-29 3/150 2026-03-31 10:06 by cal0306
[考研] 0703化学321分求调剂 +10 三dd. 2026-03-30 11/550 2026-03-30 19:24 by markhwc
信息提示
请填处理意见