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infinite23铁虫 (初入文坛)
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[交流]
【求助】磁控溅射电源问题
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请问各位磁控溅射的靶可以同时使用射频电源和直流电源吗?如果可以,该怎么接线或者怎么设计?谢谢! |
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filecode
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tmxkzk
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12楼2009-12-09 21:48:07
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infinite23
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