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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】磁控溅射电源问题
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infinite23

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射电源问题

请问各位磁控溅射的靶可以同时使用射频电源和直流电源吗？如果可以，该怎么接线或者怎么设计？谢谢！
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1楼 2009-09-19 11:21:01
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icwafer

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
像“qfw_68”说的，中频磁控溅射哦。单独买电源。
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为人民币服务！
11楼2009-09-21 17:05:33
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 12-10 09:07
同时使用？？？没听说过有这种用法。要么射频溅射，要么直流溅射。金属的话两种都能用，陶瓷靶只能射频
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2楼2009-09-19 21:51:36
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infinite23

铁虫 (初入文坛)
对，是金属，现在想同时使用，看可不可行？
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3楼2009-09-19 22:08:16
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 12-10 09:07
直流的一般只能用来溅射导电的材料，射频的话导电的和绝缘的都是可以的
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天行健，君子以自强不息～～～～～
4楼2009-09-21 08:43:48
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