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最爱喝牛奶金虫 (小有名气)
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氧化物薄膜沿厚度中间的位置开裂的原因
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磁控溅射生长氧化物薄膜，无论厚度多少，都会从薄膜厚度中部开裂，原因是什么呢？比如厚度500nm，就会从厚度约250nm处裂开分成上下两层。肉眼看不出，但是SEM截面下就很清楚。有遇到类似情况的朋友吗？ |
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